材料科學(xué)與工程：納米材料與微納加工課程思政案例

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發(fā)布日期：2021-04-24

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簡介：

本課程講授內(nèi)容以芯片的加工制造技術(shù)為主線，緊貼全球熱點(diǎn)問題，通過課程講授，旨在讓學(xué)生理解和掌握通過微納加工手段把原材料控制合成出功能性納米材料，制備出基本電子與光電器件，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)電子光電器件的大面積集成，獲得高集成度芯片的全過程。本章節(jié)為圖形化技術(shù)，是本課程的第四章。研究圖形化工藝是在硅晶元表面建立圖形的一系列加工技術(shù)，是半導(dǎo)體工藝過程中最重要的工序之一。《科技日報》將光刻機(jī)與光刻技術(shù)總結(jié)為我國科技發(fā)展的卡脖子問題，認(rèn)為是制約中國芯片發(fā)展的關(guān)鍵技術(shù)壁壘。本章節(jié)通過講解光刻技術(shù)的原理，光刻步驟、發(fā)展歷程、光刻技術(shù)的未來發(fā)展方向，我國光刻技術(shù)的發(fā)展歷程所處階段，與國內(nèi)外先進(jìn)水平的差距。